澳大利亚新南威尔士大学的王军等学者运用一种全新的材料去除机理，提出了一种新型的激光辅助异轴水射流加工技术，即激光一水射流复合加工技术，通过使用激光来加热和软化材料，水射流来驱除被软化的材料;水同时也能实现冷却作用。研究了主要加工参数对切槽几何形貌和热影响区大小的影响。结果表明，激光脉冲能量、脉冲重复率对切槽形貌有非常重要的影响，这两个参数的提高能够增大切槽宽度和深度。然而这些参数对热影响区宽度的影响是微乎其微的。此外，位于激光焦深以内的较小的焦平面位置能够以较小的热影响区产生较窄和较深的切槽。在水射流冲击形成的椭圆形轮廓长径以内的水射流偏置距离能够减少能力损失和水射流对激光的光学扰动。通过对比干式激光烧蚀和复合激光一水射流加工，证明了这种新型激光加工技术实现硅近无损伤微细加工的可行性及优势。根据单晶硅中的微细结构的变化对表面及亚表面损伤进行了研究。拉曼光谱研究表明，当使用复合加工技术时，非晶层的厚度小于40μm。此外，当使用低激光脉冲能量、低脉冲重复率和高水射流压强时，切槽表面形成的非晶层的厚度非常小。

总之，激光和水射流复合加工技术可以有效减小热影响区，加工工件表面无重铸和毛刺现象。在使用高压水射流辅助激光加工时，高压水射流可以提高材料的冷却效果和材料的切割效率。